PECVD Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition. DC Glow Discharge.

Slides:



Advertisements
Liknende presentasjoner
Den strålende sola Del 2: Nordlys Foto: Jouni Jussila.
Advertisements

Hvordan kan vi lage salt av syrer og baser?
Ut i verdensrommet med plasmaframdrift
Elektrolyse O H De fleste salter løser seg i vann.
PowerPoint nr 2 Energi – ting skjer
Hvordan er et atom bygd opp?
HVORFOR BLIR HÅRET ELEKTRISK?
Knight, Kap.38 Emisjon av lys (lysutsending).
Forsøk i 9A - Finnes det ioner i saltløsninger?
Biokjemisk separasjonsmetode med mange applikasjoner
Kap 6. Gasser Avogadros lov p er trykk og måles i Pa, pV=nRT
Medisinske Lasere. Praktisk-teknisk gjennomgang,definisjoner
Frekvensspesifikke svar ABR - ASSR
Kapittel 18 Grunnleggende diodekoplinger
Forelesning nr.8 INF 1411 Elektroniske systemer
Forelesning nr.7 INF 1411 Oppsummeringsspørsmål Spørsmål fra forelesningene 1 til INF
Kap.11 Elektrokjemi.
Leksjon 1 - mekanikk - s. 11– 52 Kraft - moment - resultant - grafisk analyse
Strålehygiene v/cath.lab
K-120 Spektroskopi.
Strøm / Resistans / EMS.
STRÅLING Er energi som sendes ut fra en strålingskilde i form av bølger eller partikler. Kan være synlig (lys) og usynlig (radiofrekvens) energi.
Radioaktiv stråling Mål for opplæringen er at du skal kunne
De 100 mest brukte ordene i bøker i klasse..
Laseren. Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation
BP’s ansvarsfraskrivelse The reserve figures shown do not necessarily meet SEC definitions and guidelines in determining proved reserves nor do they necessarily.
STRÅLEFYSIKK - STRÅLEVERN RADIOAKTIVITET
100 høyfrekvente ord Trykk F5 for å starte, deretter klikker du på ønsket hastighet 2 sekunder 1 sekund Blink Randi Orten og Thomas Melby, Stenbråten skole.
Kapittel 17 Dioder Halvledere – Semiconductors
Hva er bindinger?.
NATURENS MINSTE BYGGESTEINER.
Kimdannelse Typer av transformasjoner Homogen kimdannelse
Elektronikk med prosjektoppgaver FYS 1210
Atomer, molekyler m m.
Magnetronen Viktig komponent i radar og mikrobølgjeovn Enkel modell for virkemåten til magnetronen Går ikkje inn på detaljert forklaring av vekselverknaden.
Elektronegativitet. Kjemiske reaksjoner og bindinger
Naturfag /8 Elektrokjemi.
Naturfag /8 Elektrokjemi.
Naturfag /8 Elektrisitet (og magnetisme)
Det store spørsmålet: HVA ER ALT BYGD OPP AV?.
Stoffenes byggesteiner og modeller
Batterier Virkemåten til Li-baserte celler. Batterier generelt: Et stoff som oksideres (negativ elektrode) Et stoff som reduseres (positiv elektrode)
ATOMET Minste del av en ting…… Elektroner, protoner, nøytroner, skall.
ET GRUNNSTOFF KAN VÆRE ET FAST STOFF, FOR EKSEMPEL ET METALL eller EN VÆSKE eller EN GASS.
Excellence in Connectivity Solutions Torsten Magnussen1 HUBER+SUHNER splittere & koblere.
Grunnstoffene og periodesystemet
Atom og åtteregelen Læremål: Korleis er eit atom oppbygd?
Grunnstoff og atom.
Silisium Fremtidens materiale
ATOMER.
Metall og ikkje-metall
Periodesystemet og atombegrepet
Kjemiske reaksjoner og egenskaper til stoffer
1.
Atomer, molekyler og ioner
Grunnstoffer og periodesystemet
Hvordan er et atom bygd opp?
Utskrift av presentasjonen:

PECVD Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

DC Glow Discharge

Deponering av isolatormateriale DC Glow Discharge virker ikke Bygger seg opp positiv ladning på katoden Bruker høyfrekvent vekselspenning (MHz) Utnytter forskjellen i mobilitet Bare elektronene reagerer på vekselspenningen Danner sone nær elektrodene med få elektroner

Lavfrekvent firkantpuls Input square wave: Voltage response: Expanded view of positive ion response Elektronstrøm Ionestrøm

Plasma- og overflatespenning Eksitasjon: høyfrekvent sinuspuls

Plasma uten gnist PECVD trenger ingen startgnist Vekselspenningen får elektronene i atomene i gassen til å oscillere Ved støt kan de ionisere atomene Vi er ikke avhengig av sekundærelektroner

Men hvordan ser egentlig et PECVD-kammer ut?

PECVD på IFE

Dybdeprofil av Si 3 N 4 silicon nitridesilicon oxynitride Deposition conditions:Flow Rates: Power:300 WElectrode spacing:2 cm SiH 4 :1550 sccm Pressutre:1.2 TorrDeposition Rate:7 nm/min NH 3 : 90 sccm Temperature:300 °C (NO 2 : 8 sccm)

Deponering av Si 3 N 4

Men hva er dette?

Referanser G. S. Anderson et.al., J. Appl. Phys. 33, 2991 (1962) H. S. Butler and G. S. Kino, Phys. Fluids 6, 1346 (1963) P. D. Davidse and L. I. Maissel, J. Appl. Phys. 37, 574 (1966) H. R. Koenig and L. I. Maissel, IBM J. Res. Develop. 14, 168 (1970) J. S. Logan, IBM J. Res. Develop. 14, 172 (1970) L. I. Maissel et.al., IBM J. Res. Develop. 14, 176 (1970) R. H. Bruce, J. Appl. Phys. 52, 7064 (1981) W. A. P. Claasen, J. Electrochem. Soc. 132, 893 (1985) V. S. Nguyen et.al., J. Electrochem. Soc. 131, 2348 (1984)