Resistive sensors Material from Section 3.5: Resistivity

Slides:



Advertisements
Liknende presentasjoner
Elektrisitetslære og elektronikk Vitensenteret, Trondheim
Advertisements

Forelesning nr.6 INF 1411 Oppsummeringsspørsmål Spørsmål fra forelesningene 5 og INF
Biokjemisk separasjonsmetode med mange applikasjoner
Instrumentering Symboler for prosesskjema NS1438:
Kapittel S Elektrokjemi.
Lindem 27. april 2013 Hva er en Sensorer ?
Forelesning nr.3 INF 1411 Elektroniske systemer
Forelesning nr.8 INF 1411 Elektroniske systemer
Forelesning nr.5 INF 1411 Oppsummeringsspørsmål
Støy Stoff fra Fraden kap 5.13 (Støy) Fraden kap 5.11 (Brokoblinger)
Likestrøm Ems – elektromotorisk spenning (s.15) Kjemisk (batteri)
Kap.11 Elektrokjemi.
Fysikk og teknologi - Elektrisitet
Kapittel 2 Spenning NASA.
Strøm / Resistans / EMS.
Formelmagi Målsetting Å få struktur på formelapparatet:
Formelmagi 31-1 Begrep/fysisk størrelse
Elektrisitetslære Vitensenteret, Trondheim
Jan Kocbach Department of Physics University of Bergen November 2000 Semiconductor sensors.
Lecture Notes for GEOF110 Chapter 10 (3 hours)
Kort om |. Ved å bruke spesielle substanser for innfarging som reflekterer spesifike bølgelengder av lys kan man påvirke yttertemperaturen på et materiale.
Strekkprøving av seigt (bløtt) konstruksjons- stål.
Sensorer, måleteknikk og signalbehandling
Introduksjon i bruk av kompass
Første ordens system Fysikk Matematikk Blokkdiagram Stoff fra:
INF1400 – Kap 10 CMOS Teknologi. Hovedpunkter MOS transistoren Komplementær MOS (CMOS) CMOS teknologiutvikling CMOS eksempler - Inverter - NAND / NOR.
Sensorer, måleteknikk og signalbehandling
Støy Stoff fra Fraden kap 5.9 Fraden kap 3 (Induktans, kapasitans, Seebeck effekt, piezoelektrisitet (triboelektrisitet). Keithley: Low level measurements.
Vibrations and second order systems
Trykksensor konsepter
Elektronikk med prosjektoppgaver FYS 1210
Introduksjonstime Presentasjon av forelesere Presentasjon av studentene Orientering om lab opplegget Undervisningsplan Diverse –Lærebok –Kompendie –Web.
Kapasitive måleprinsipper Rene geometriske målinger som kan forstås fra elektrostatikk (gauss lov) Materialavhengige målinger kan forståes ut fra dielektrisitetskonstant.
Introduksjonstime Språk ? Presentasjon av forelesere Presentasjon av studentene Orientering om lab opplegget Diverse –Lærebok –Kompendie –Web sider Litt.
Naturfag /8 Elektrisitet (og magnetisme)
Electronics Technology Fundamentals
1 Hva er en Sensorer ? En sensor er en komponent som mottar et signal eller stimulering – og som svarer med et elektrisk signal. En stimulering - slik.
1 SKOLELABORATORIET Karakterisering av sensorer Temperatur og lys Av Nils Kr. Rossing Skolelaboratoriet ved NTNU.
Velkommen til MG Rover Norge Serviceskolen. MG Rover Norge Serviceskolen Kurs innhold Hva er elektrisk strøm Magnetisme Vekselstrøm og likestrøm Blyakkumulatoren.
Bygg en kulerullebane - - om Stillingsenergi og Kinetisk energi En praktisk mekanisk øvelse som introduksjon til elektrisitetslæra av Nils Kristian Rossing.
This document is prepared by Hybond AS. The information contained herein derives from various sources. Hybond AS has not verified the information and makes.
MG Rover Norge Serviceskolen Velkommen til Serviceskolen MG Rover Norge.
1 SKOLELABORATORIET Grunnleggende sensorteknologi Sensorer for bruk i CanSat Av Nils Kr. Rossing Skolelaboratoriet ved NTNU CanSat – sept
Elektro 1 SUBARU NORGE AS MG ROVER NORGE. Kurs innhold Hva er elektrisk strøm Hva er elektrisk strøm Magnetisme Magnetisme Vekselstrøm og likestrøm Vekselstrøm.
Elektronikk - Bygg en strømforsterker - Fuktighetsdetktor av Nils Kristian Rossing Skolelaboratoriet ved NTNU.
ELEKTRISITET. Noen viktige ord: HVA ER ELEKTRISITET? Hva er elektrisk ladning?
«Hvorfor går strømmen motsatt vei av elektronene?»
Kalibrering av passbiter ved komparering:
1 SKOLELABORATORIET Nils Kr. Rossing Grunnleggende sensorteknologi Skolelaboratoriet Av Nils Kr. Rossing Skolelaboratoriet ved NTNU.
Transistorer og lysdioder - elektronikkens arbeidshester
WP4 Estimation of energy consumption and economy.
Silisium Fremtidens materiale
Andre ordens system og vibrasjoner
Luleå University of Technology
Andre ordens system og vibrasjoner
Skolelaboratoriet ved NTNU
Karakterisering av sensorer (Lab) ToF modul 1 –
Naturfag.
Av Finn Aakre Haugen IA3112 Automatiseringsteknikk og EK3114 Automatisering og vannkraftregulering Høstsemesteret 2017 Sensorer Lysark.
Digital elektrisk energi
Adsorption & ion exchange:
CMOS fabrikasjonsprosess og utleggsregler
کروماتوگرافی گازی.
Chapter 03 Multiresolution Analysis (MRA)
Samfunnsutfordringer globalt og lokalt
Site visit 22. sept 2013.
CanSat – Analyse av data
Grunnleggende sensorteknologi Sensorer for bruk i CanSat
Utskrift av presentasjonen:

Resistive sensors Material from Section 3.5: Resistivity Section 9.5: Strain gauges Chapter 10: Pressure sensors Chapter 18: Micromachining and silicon Section 5.9.1: Noise Chapter 5.7: Bridge circuits

Mekanisk spenning (strain) Hvorfor Noe vi vil måle Mekanisk spenning (strain) Elektrisk spenning Motstandsendring Temperaturendring Noe annet vi vil måle

Resistivity a L R0= L/a2 Mass Time between collisions Carrier density

Begrep Resistive thermal detector (RTD) Pt 100 Thermistor Temperature coefficient of resistivity (TCR) Negative temperature coefficient (NTC) Positive temperature coefficient (PTC)

Motstandsendring i metall leder a+a L+L a L R0= L/a2 R=R0+R0 L/L-2R0a/a a/a 1/2 L/L R/R  2 L/L R/R  2 

Balansert bro V0/2 V0/2 V0 0 V V0/2 V0/2

Belastet struktur V0/2 (1-R/R) V0/2 (1+R/R) V0 V0 R/R

Bruksområder Veieceller Akselerometer Trykksensorer

Forskjell i gauge faktor Metall: R/R  90  Silisium: R/R  2 

Fotolitografi Si02 n Si n Si PR Window n Si n Si Diffused region p n

Anisotrop våt etsing Silisium oksyd eller nitrid åpnet med fotolitografi Silisium Dypper i KOH/H2O “Lar ligge” i KOH/H2O

Anodisk bonding

Retningsavhengighet Over/under konfigurasjon er ikke praktisk i silisium. Men vi kan snu retningen på motstandene

Piezoresistiv trykksensor

Noise Noise: Resistivity/dissipation: V2=4kTRΔf V=RI Electric field Electric energy -> Heat V2=4kTRΔf V Heat -> Electric energy