Laste ned presentasjonen
Presentasjon lastes. Vennligst vent
1
CMOS fabrikasjonsprosess og utleggsregler
INF3400 Del 7 Teori CMOS fabrikasjonsprosess og utleggsregler
2
Introduksjon til CMOS fabrikasjonsprosess
May 2004 Introduksjon til CMOS fabrikasjonsprosess Håvard Kolle Riis
3
May 2004 Håvard Kolle Riis
4
May 2004 Håvard Kolle Riis
5
May 2004 Håvard Kolle Riis
6
May 2004 Håvard Kolle Riis
7
May 2004 Håvard Kolle Riis
8
May 2004 Håvard Kolle Riis
9
Integrerte kretser Blått lys (UV) Maske Oksygen (O2) Isolator (SiO2)
Halvleder (Si) Arsen (As) Halvleder n(egativ)type (Si) Halvleder ptype (Si) Oksygen (O2) Isolator (SiO2) Halvleder (Si) Bor (B) Dopet silisium (Si) – p(ositiv)type Glassmaske Fotoresist Polysilisium (halvleder) Udopet silisium (Si)
10
Utlegg av port May 2004 Håvard Kolle Riis
11
Stick diagrammer May 2004 Håvard Kolle Riis
12
May 2004 Håvard Kolle Riis
13
May 2004 Fotolitografi Håvard Kolle Riis
14
Fremstilling av brønn og kanal
May 2004 Fremstilling av brønn og kanal Håvard Kolle Riis
15
May 2004 Isolering Håvard Kolle Riis
16
May 2004 Gate oksid Håvard Kolle Riis
17
Fremstilling av source og drain
May 2004 Håvard Kolle Riis
18
May 2004 Håvard Kolle Riis
19
May 2004 Kontakter Håvard Kolle Riis
20
May 2004 Metall Håvard Kolle Riis
Liknende presentasjoner
